新派讯 9月7日，记者走进潍坊潍城区的潍坊六合新材料有限公司生产车间，工人们正将碳化硅粉倒入料仓，经过一道道纯化工序，去掉铁粉、碳等杂质，按颗粒度大小分级后进入沉降槽，一粒粒高纯度、高精度的微粉由此诞生。
工作人员正在对微粉进行检测。
这些看似普通的微粉，究竟有何重要作用？
“无论是半导体芯片、航天部件还是精密光学仪器等高精尖产品，其制造过程都离不开这些碳化硅微粉，而作为超精密研磨领域的‘工业牙齿’，其品质直接决定了终端产品的精度与性能。”潍坊六合新材料有限公司常务副总经理刘远志介绍。
以半导体芯片制造为例，其中一道重要工序是用微粉切割晶圆。制造低制程芯片，需要大尺寸晶圆，其表面平整度要求极高，厚度偏差必须控制在10微米以内，如果微粉粒度不均，在切割过程中便极易使晶圆表面形成划痕或厚度不均，影响产品质量。
潍坊六合新材料有限公司生产的产品
为实现微粉的极高一致性，六合新材料持续优化生产技术，引进一台台大型溢流分级设备，实现微粉按粒度、密度、形状等方面的微米级精度分级。“我们现在微米分级公差控制可达1微米，能完美适配晶圆加工领域对刃料近乎严苛的要求。”公司技术总监杨顺亮自豪地说。
对技术的不断创新和品质的不懈追求，让六合新材料的产品具有纯度高、切割效率高、自锐性优越、粒度分布均匀、质量稳定等特点，使其成为全球半导体相关头部企业的核心供货商。
然而六合新材料的进击之路并未止步于此，随着细分市场的竞争日益激烈，为让企业始终能够站稳脚跟，引进新项目成为六合新材料另一主攻方向。“近几年国内新能源汽车行业发展迅猛，对加工磷酸铁锂电池材料的设备需求大，我们适时引进了无压烧结碳化硅陶瓷项目，填补了国内该领域的一大空白。”刘远志介绍。值得一提的是，该项目成功入选山东省新旧动能转换重点项目，有效填补了国内高性能碳化硅陶瓷的市场缺口。
通过自主研发，六合新材料实现无压烧结碳化硅陶瓷的关键技术突破，可以做到直径1.2米大尺寸碳化硅陶瓷产品，相比国外供应商动辄一年的交货周期，该产品的交货周期只有90天，价格也只有进口的三分之一，成为国内外磷酸铁锂材料加工设备生产企业的独家供应商。目前，企业拥有自主知识产权的国家专利18项，且全部实现产业化应用，获批“山东省碳化硅工程技术研究中心”，获评山东省科技进步三等奖。
因为技术创新带来产品卓越的性价比，六合新材料的订单量持续增长。“为了扩大产能，满足生产需求，今年我们投资3亿元建设新的厂区，总占地30亩，目前研发办公楼已建到地上三层，两栋车间主体框架已基本完成。”刘远志说。据了解，该项目建成后，预计可形成年产晶圆切割用微粉3000吨、无压烧结碳化硅陶瓷1.5万件的生产能力。
新派融媒体记者:刘晓杰/文图
通讯员:齐天尚
编辑:韩佳 孙锦
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